采用低温等离子体分解油雾、废气等污染介质时，等离子体中的高能离子起决定性的作用。废气和恶臭气体经过等离子体电场区，在纳秒级时间范围内流星雨状的高能离子与介质内分子(原理)发生非弹性碰撞，等离子猛烈轰击废气和臭味等污染物分子，产生裂变分解反应，将能量转化成基态分子(原子)的内能，发生激发，离解、电离等一系列过程使污染介质处于活性状态，污染介质在等离子体的作用下，产生高浓度、度、高能量的各种活性基、高能电子、高能离子等，同时产生大量臭氧、原子氧、生态氧等混合气体，进行一系列复杂的分化裂解和氧化还原反应。